PSG 磷硅玻璃去除設備

* 去除爐管製程中產生之磷硅玻璃 * 高產能及低破片率之批次式 (Batch-Type)全自動清洗設備 * 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理 * 採用特殊乾燥系統設備，有效降低產品破片率 * 全自動補液技術 * 搭配觸控式螢幕，提供操作簡便的功能性 * 可依用戶端提供 MES/CIM 資料連結