Pre-clean 清洗設備

* 清除矽晶片上指紋印及表面污染 * 具Ultrasonic 超音波清洗功能 * Btach-Type 批次式全自動濕製程系統 * 清除指紋及表面汙染 * 以先進清洗製程搭配獨特藥劑配方，提供短時程晶片表面清洗處理。 * 具低破片率及高產出率優勢。